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泰勒CCI MP 小尺寸自動光學(xué)輪廓儀信息

高精度與高分辨率

垂直測量精度高，<0.2 埃 RMS 重復(fù)性、<0.1% 臺階高度可重復(fù)性，且在全量程內(nèi)保持 0.1 埃分辨率，能捕捉到納米級甚至更小的表面細(xì)節(jié)，適用于精密制造（如半導(dǎo)體、光學(xué)元件）的表面粗糙度、臺階高度等關(guān)鍵參數(shù)檢測。

配備 1048 x 1048 像素陣列，實現(xiàn)高分辨率與大視場的結(jié)合，可同時獲取大范圍區(qū)域的精細(xì)表面數(shù)據(jù)，減少拼接次數(shù)，提升效率。

寬測量范圍與靈活拼接

垂直測量范圍達(dá) 2.2 毫米，滿足不同厚度、臺階的測量需求；通過改進(jìn)的 X、Y、Z 軸拼接技術(shù)，測量范圍可擴(kuò)展至 100 毫米，能應(yīng)對大尺寸工件（如平板顯示面板、航空航天部件）的全域表面分析。

可靠的測量穩(wěn)定性

角度靈敏度提升，減少環(huán)境干擾（如振動、溫度波動）導(dǎo)致的測量不確定性，數(shù)據(jù)質(zhì)量更穩(wěn)定；FEA（有限元分析）優(yōu)化的機(jī)械設(shè)計，確保設(shè)備具有出色的重復(fù)性與再現(xiàn)性（R&R），滿足工業(yè)質(zhì)量控制的嚴(yán)格要求。

設(shè)備設(shè)計與成本優(yōu)勢

耐用性與低成本維護(hù)

采用無壓電式 Z 軸掃描儀設(shè)計（此處描述與前文 “帶閉環(huán)壓電 Z 軸掃描儀" 可能存在表述差異，需以實際設(shè)備為準(zhǔn)），若為無壓電設(shè)計，則可避免壓電元件的老化、損耗問題，大幅降低昂貴的維修費用，適合長期高頻使用場景。

堅固的結(jié)構(gòu)設(shè)計結(jié)合自動表面檢測功能，能防止鏡頭與工件碰撞損壞，延長設(shè)備使用壽命。

合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn)化

依據(jù) ISO 標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行校準(zhǔn)，測量結(jié)果具有威性和通用性，可被行業(yè)內(nèi)廣泛認(rèn)可，適用于國際貿(mào)易、合作研究等需要統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)的場景。

易用性與智能化功能

操作便捷與低誤操作風(fēng)險

配備內(nèi)置自我診斷工具，便于快速排查故障，減少停機(jī)時間；操作流程簡化，結(jié)合 Windows 7 64 位系統(tǒng)，降低操作人員誤操作概率，即使是新手也能快速上手。

多語言支持與兼容性

支持中文、日文等多語言，適配不同地區(qū)用戶；與多數(shù) PC 平臺兼容，方便合作研究項目中的數(shù)據(jù)共享與協(xié)同分析。

進(jìn)階分析與自動化功能

新增 3D 表面的 4D 分析工具，可追蹤表面隨時間的變化（如材料老化、磨損過程），適用于長期可靠性測試；支持批量測量數(shù)據(jù)的自動報告生成，提升質(zhì)檢流程的自動化程度，適合大規(guī)模生產(chǎn)的高效質(zhì)量管控。

適用場景

該設(shè)備可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)元件加工、精密機(jī)械、航空航天等領(lǐng)域，尤其適合對表面質(zhì)量要求高的場景，既能滿足實驗室級別的科研分析，也能適配工廠生產(chǎn)線的批量質(zhì)檢需求，兼顧高精度與成本效益。